LIBS kullanılarak MATLAB temelinde ince filmlere ait yapı analizi

Abstract

Bu tezde, farklı dalga boylarında foton (ışık) salan ve NIST verileri ile karşılaştırılan, her bir numunedeki elementleri ve konsantrasyonunu belirlemek için kullanılabilir olan, numunenin belirli bir alanına lazer atışını kullanan bir tür atomik emisyon tekniği olan Lazerle indüklenmiş plazma Spektroskopisi (LIBS) yöntemi ile çalıştık. Çalışmamızda Lorentzian uyumu kullanarak tepe ve alt noktaları belirlemek için bir MATLAB kodu geliştirdik. Böylece her tepe noktasının altındaki alan yüzdesini hesaplayabilir ve sonuçları diğer yöntemlerle Origin yazılımı ve Excel kullanarak karşılaştırabildik. Her bir atış için RSD, LOD ve SNR ve gürültü dalgalanmasını hesaplanmıştır. Numune CVD ile hazırlandı ve bu çalışmada LIBS Modelini ((LPS-1064-A 50mJ) kullandık; Başlangıç Dalgaboyu 186.263 nm, Bitiş Dalgaboyu: 888.604 nm, Geçit Gecikmesi: 0.350, Geçit Genişliği (ms): 1.050 dir. Belirli bir program kullanılarak yapılan hesaplama, her tepe noktasının altındaki Alan yüzdesine ilişkin özdeş sonuçları gösterdi ve her dalga boyunda birinci ve ikinci atışta anormal tepki olmasına rağmen, foton emisyon etkisi normal hale geldi. Numune üzerinde Sn, Mg, Fe, Al, Cu, S, Si, Zn elementleri analizleri yapıldı.In this thesis, we work with Laser induced breakdown Spectroscopy (LIBS), which is a type of atomic emission technique that used the laser shot on specific area of the sample to atomization-cum-excitation process , which released photon (light) at different wavelengths,which compared with the NIST data ,which can be after that used to determine elements in each sample and its concentration, in our work we develop a MATLAB code to determine the peaks and the area under it with using Lorentzian fitting, so that we can calculate the Area percentage under each peak and we compare the results with other methods Origin software and Excel , so that we have the ability to calculate the RSD ,LOD and SNR and the noise Fluctuation for each shot that we had, the sample was prepared throught CVD and we used the LIBS Type ((LPS-1064-A 50mJ) , Start Wavelength 186.263 nm, End Wavelength: 888.604 nm, Gate Delay: 0.350 ,Gate Width (ms) :1.050, the calculation by using certain program showed identic results regards the Area -percentage under each peaks and abnormal response on the first and second shot at each wavelength after that the photon emission effect goes ordinary . The sample was continued: Sn, Mg, Fe, Al, Cu, S, Si, Zn .