Atılım Üniversitesi

Permanent URI for this communityhttps://hdl.handle.net/20.500.14411/1

Browse

Browsing Atılım Üniversitesi by Author "-noor, Karrar Noor Hussein Al"

Filter results by typing the first few letters
Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Master Thesis
    Moo İnce Filmlerin Üretimi ve Karakterizasyonu
    (2020) -noor, Karrar Noor Hussein Al; Güllü, Hasan Hüseyin; Department of Electrical & Electronics Engineering; 15. Graduate School of Natural and Applied Sciences; 01. Atılım University
    Bu tezde, deneysel çalışmalar MoO ince filmlerinin üretimi ve karakterizasyonu üzerine yoğunlaştı. Bu nedenle, kompozisyon stokiyometrisini sağlayan ince film örnekleri DC magnetron saçtırma metodu kullanarak üretildi. Saçtırma sürelerine bağlı olarak iki farklı örnek seti hazırlandı. DC gücü 100 W olarak sabitlenerek üretimde birikme oranı kontrol altına alındı ve üretim süresi 30 ve 60 dakika olarak belirlendi. Ayrıca, alttaş sıcaklığının etkileri de araştırıldı. Her örnek seti için, üretim sırasında oda sıcaklığı ile 300°C arasında farklı alttaş sıcaklıkları uygulanarak dört faklı örnek elde edildi. Böylece, üretim zamanı ve altaş sıcaklığı farklılıklarına bağlı olarak, örneklerin yapısal, yüzey, optik ve elektriksel karakteristikleri değerlendirildi.