Atılım Üniversitesi / Atılım University
Permanent URI for this communityhttps://ada.atilim.edu.tr/handle/123456789/1
Browse
Browsing Atılım Üniversitesi / Atılım University by Author "-noor, Karrar Noor Hussein Al"
Now showing 1 - 1 of 1
- Results Per Page
- Sort Options
Master Thesis MoO ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu(2020) Güllü, Hasan Hüseyin; Güllü, Hasan Hüseyin; Department of Electrical & Electronics EngineeringBu tezde, deneysel çalışmalar MoO ince filmlerinin üretimi ve karakterizasyonu üzerine yoğunlaştı. Bu nedenle, kompozisyon stokiyometrisini sağlayan ince film örnekleri DC magnetron saçtırma metodu kullanarak üretildi. Saçtırma sürelerine bağlı olarak iki farklı örnek seti hazırlandı. DC gücü 100 W olarak sabitlenerek üretimde birikme oranı kontrol altına alındı ve üretim süresi 30 ve 60 dakika olarak belirlendi. Ayrıca, alttaş sıcaklığının etkileri de araştırıldı. Her örnek seti için, üretim sırasında oda sıcaklığı ile 300°C arasında farklı alttaş sıcaklıkları uygulanarak dört faklı örnek elde edildi. Böylece, üretim zamanı ve altaş sıcaklığı farklılıklarına bağlı olarak, örneklerin yapısal, yüzey, optik ve elektriksel karakteristikleri değerlendirildi.