Ge2sb2te5 Filmlerin Faz Değişimi ile Rezonans Frekansı Ayarlanabilen ve Güçlü Girişim Etkisini Kullanan Kızılötesi Rezonatör Yüzeylerin Çalışılma

Proje kapsamında düz metal yüzeyler üzerine kaplanacak Ge2Sb2Te5 filmlerin kalınlıgını ve fazını degistirerek, yüzeylerin kızılötesindeki optik özelliklerinin degistirilmesi önerilmistir. Ge2Sb2Te5 filmler amorf fazdayken kızılötesinde ciddi bir sogurma göstermezken filmlerin fazı kristale çevrildiginde sogurma dalga boyları kızıl kayma gösterip ciddi miktarda artmaktadır. Metal üzerine kaplanmıs Ge2Sb2Te5 filmlerin bu özelligi, kızılötesindeki sogurma miktarı ısıl prosesler ile ayarlanabilen yüzeylerin tasarlanmasına olanak saglamıstır. Projede kullanılan yöntemler farklı metaller için yüzeylerin optik özelliklerinin anlasılması ile baslamıstır. Bunun için birçok farklı metal için numerik simülasyonlar yapılmıs ve bunların içinde Al, Ag, ve Au kullanarak yüzeyler üretilmistir. Yüzeylerin üretilmesi düz Si altlıklar üzerine metallerin termal buharlastırma ile kaplanmasıyla baslamıstır. Ardından metal yüzeyler üzerine degisik kalınlıklardaki Ge2Sb2Te5 filmlerin saçtırma yöntemi ile kaplanmıstır. Yüzeyler 150 C derece üzerinde ısıtılarak Ge2Sb2Te5 filmlerin fazı amorftan kristale çevrilmistir. Yüzeylerin optik ölçümleri elipsometre ve FTIR düzenekleri ile yapılmıstır. Sonuç olarak görünür ve kızılötesi dalga boylarında optik özellikleri ısıl prosesler ile ayarlanabilen yüzeyler ortaya konmustur.